G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 9/02 (2006.01)
Patent
CA 2474631
The invention relates to the studies of internal structures of objects with the aid of optical means. According to one variant of the inventive method and interferometer for carrying out said method, the optical beam path for low- coherent radiation directed towards the studied object (8) is embodied in such a way that it is bi-directional, the optical beam path for reference low- coherent radiation being embodied such that it is uni-directional. According to another variant of said method and interferometer, the reference optical beam path is embodied in the form of a loop (23). A part of said reference radiation travels along the beam path in a clockwise direction, the other part thereof travelling along said beam path in a conterclockwise direction. In the second variant, splitting factors can be optimised by embodying optical splitters (21) and (24) in such away that they are nonreciprocal or polarisation-dependent and by introducing polarisation-modifying elements between said splitters (21) and (24) and / or into a measuring arm and reference arms. The inventive variants of the method and interferometers for studying an object ensure the independence of the splitting and mixing radiation factors, thereby making it possible to control the power of a radiation source. Said splitting and mixing factors can be defined with respect to the best signal/noise relationship at the specified power of a radiation source.
L'invention concerne l'examen de la structure interne d'objets par l'interm~diaire de moyens optiques. Dans une variante dudit proc~d~ et de l'interf~romtre permettant sa mise en oeuvre, un trajet optique pour rayonnement ~ faible coh~rence dirig~ sur un objet examin~ (8) est form~ dans deux directions, et un trajet optique pour rayonnement ~ faible coh~rence de r~f~rence est form~ dans une seule direction. Dans une autre variante du proc~d~ et de l'interf~romtre, le trajet optique de r~f~rence se pr~sente sous la forme d'une boucle (23). Une partie du rayonnement de r~f~rence suit le trajet optique dans le sens des aiguilles d'une montre, l'autre partie de ce rayonnement de r~f~rence suit le trajet optique dans le sens contraire des aiguilles d'une montre. Dans cette variante, les facteurs de division peuvent Útre optimis~s par la mise en oeuvre de diviseurs de faisceau de lumire (21, 24) non r~ciproques ou d~pendants de la polarisation, et par l'int~gration d'~l~ments modifiant la polarisation, entre lesdits diviseurs de faisceau de lumire (21, 24) et/ou dans un bras de mesures ou un bras de r~f~rence. Dans les variantes du proc~d~ d'examen d'objet et des interf~romtres selon l'invention, l'ind~pendance des facteurs de division et de m~lange de rayonnement est assur~e, de sorte ~ r~guler la puissance de la source de rayonnement. Lesdits facteurs de division et de m~lange peuvent Útre d~termin~s en fonction des meilleurs rapports signal/bruit pour une puissance de source de rayonnement donn~e.
Amazeen Paul Gerard
Feldchtein Felix Isaakovich
Gelikonov Grigory Valentinovich
Gelikonov Valentin Mikhailovich
Gowling Lafleur Henderson Llp
Imalux Corporation
LandOfFree
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