G - Physics – 05 – D
Patent
G - Physics
05
D
G05D 7/06 (2006.01)
Patent
CA 2457986
A method for supplying a specified quantity Q of processing gas while dividing at a desired flow rate ratio Q1/Q2 accurately and quickly from a gas supply facility equipped with a flow controller into a chamber. When a specified quantity Q of gas is supplied while being divided at a desired flow rate ratio Q1/Q2 from a gas supply facility equipped with a flow controller into a pressure reduced chamber C through a plurality of branch supply lines and shower plates fixed to the ends thereof, pressure type division quantity controllers FV1 and FV2 are provided in the plurality of branch supply lines GL1 and GL2. Opening control of both division quantity controllers FV1 and FV2is started by an initial flow rate set signal from a division quantity control board FRC for fully opening the control valve CV of the pressure type division quantity controller having a higher flow rate and pressures P3~ and P3~ on the downstream side of the control valve CV are regulated thus supplying a total quantity Q=Q1+Q2 of gas while dividing into the chamber C through orifice holes (3a, 4a) made in shower plates (3, 4) at desired division quantities Q1 and Q2 represented by formulas Q1=C1P3~ and Q2=C2P3~ (where, C1 and C2 are constants dependent on the cross-sectional area of the orifice hole or the gas temperature on the upstream side thereof).
L'invention concerne un procédé pour acheminer, de manière précise et rapide, une quantité spécifiée Q de gaz de traitement entre une installation d'acheminement de gaz équipée d'un régulateur de débit et une chambre, tout en le divisant avec un rapport de débit voulu Q¿1?/Q¿2?. Lorsqu'une quantité Q spécifiée de gaz est acheminée entre une installation d'acheminement de gaz équipée d'un régulateur de débit et une chambre C à pression réduite, tout en étant divisée avec un rapport de débit voulu Q¿1?/Q¿2?, par l'intermédiaire d'une pluralité de conduites d'alimentation secondaires et de plaques perforées fixées aux extrémités de ces dernières, des régulateurs de quantités à diviser, du type à pression, FV¿1? et FV¿2? sont installés dans la pluralité de conduites d'alimentation secondaires GL¿1 ?et GL¿2?. La commande de l'ouverture des deux régulateurs de quantités à diviser FV¿1? et FV¿2? est déclenchée par un signal déterminant le débit initial, émis par un circuit de régulation de quantités à diviser FRC pour assurer l'ouverture totale de la soupape de régulation CV du régulateur de quantités à diviser, du type à pression, présentant un débit supérieur, et les pressions P¿3?' et P¿3?'' en aval de la soupape de régulation CV sont régulées, ce qui permet d'acheminer dans la chambre C une quantité totale Q= Q¿1? + Q¿2? de gaz, tout en le divisant, à travers les orifices (3a, 4a) des plaques perforées (3,4), dans des quantités à diviser voulues Q¿1? et Q¿2? représentées par les formules Q¿1?= C¿1?P¿3?' et Q¿2?=C¿2?P¿3?''(C¿1? et C¿2? étant constants et fonction de la surface de la section de l'orifice ou fonction de la température du gaz en amont de ce dernier).
Dohi Ryousuke
Ikeda Nobukazu
Nishino Kouji
Sugiyama Kazuhiko
Uenoyama Toyomi
Fujikin Incorporated
Riches Mckenzie & Herbert Llp
Tokyo Electron Ltd.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1414147