G - Physics – 01 – L
Patent
G - Physics
01
L
G01L 9/00 (2006.01)
Patent
CA 2679648
The invention relates to a capacitive vacuum measuring cell (8) which is produced entirely from a ceramic material. Small amounts of aluminium (3, 6) are provided between the aluminium oxide ceramic parts that are to be connected in regions that are to have seals or connections applied, or where passages or measuring connections are located and the two parts are combined at an increased temperature and pressure in the presence of a protective atmosphere containing a reductive gas such as hydrogen. This produces a solid connection. In an additional subsequent step the residual metallic aluminium in the connection region (3, 6) is oxidised at an increased temperature in an atmosphere containing oxygen to form aluminium oxide. As a result, the connection region (3, 6) consists essentially of the same material as the parts to be connected, thus achieving a high corrosion resistance, in particular in regions that are exposed to the aggressive process gases.
Selon l'invention, une cellule capacitive (8) de mesure du vide est réalisée entièrement à partir de céramique. Dans les zones où l'on doit réaliser une étanchéité et une liaison ou bien dans des zones où doivent être mis en place des passages ou des bornes de mesures, de faibles quantités d'aluminium (3, 6) sont disposées entre les parties céramiques d'oxyde d'aluminium à relier, et les deux pièces sont assemblées à température élevée et pression élevée sous une atmosphère de protection gazeuse qui contient un gaz réducteur tel que de l'hydrogène. Cela permet déjà la formation d'une liaison solide. Au cours d'une étape ultérieure, l'aluminium métallique qui subsiste dans tous les cas est à nouveau oxydé pour donner de l'oxyde d'aluminium dans la zone de liaison (3, 6) à une température élevée dans une atmosphère contenant de l'oxygène. Cela permet d'obtenir un matériau sensiblement identique à celui des pièces à relier, dans la zone de liaison (3, 6) elle-même. On obtient ainsi une résistance à la corrosion très élevée, en particulier dans des zones exposées aux gaz de traitement agressifs.
Bertsch Dietmar
Dietrich Klaus
Onda Nico
Wuest Martin
Fetherstonhaugh & Co.
Inficon Gmbh
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2045232