H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/00 (2006.01)
Patent
CA 2436424
To increase the temperature homogeneity on the surface of a substrate that is to be thermally treated, a method for thermally treating substrates is provided, according to which the substrate is heated by several separately controllable heating elements. A desired-value profile is predefined for each of said heating elements. The method comprises the following steps: locally- analysed measurement of the temperature of the surface of the substrate that faces away from the heating elements, during the thermal treatment; determination of the temperature inhomogeneities occurring on the substrate surface; definition of new desired-value profiles based on said temperature inhomogeneities; and preparation of the new desired-value profiles for subsequent treatments.
La présente invention concerne un procédé de traitement thermique de substrats qui permet d'obtenir des températures plus homogènes à la surface d'un substrat devant être traité. Selon ce procédé, le substrat est chauffé au moyen de plusieurs éléments chauffants à commande séparée. Un profil de valeur théorique est prédéfini pour chacun de ces éléments chauffants. Ce procédé consiste à mesurer avec une résolution locale la température de la surface du substrat qui est opposée aux éléments chauffants au cours du traitement thermique, à détecter une non homogénéité de température à la surface du substrat, à déterminer de nouveaux profils de valeur théorique, sur la base de la non homogénéité de température détectée, puis à préparer les nouveaux profils de valeur théorique pour des processus de traitement suivants.
Dietze Uwe
Dress Peter
Saule Werner
Szekeresch Jakob
Hamatech Ape Gmbh & Co. Kg
Robic
Steag Hamatech Ag
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2032544