G - Physics – 05 – B
Patent
G - Physics
05
B
G05B 23/02 (2006.01) F16K 17/22 (2006.01) G01D 21/00 (2006.01) G05D 7/06 (2006.01)
Patent
CA 2345097
A method checks the flow rate for abnormalities while controlling the flow rate of fluid in a pressure-type flow controller FCS using an orifice - the pressure-type flow controller wherein with the upstream pressure P1 maintained about two or more times higher than the downstream pressure P2, the downstream flow rate Q C is calculated by the equation Q C = KP1 (K: constant) and wherein the control valve CV is controlled on the basis of the difference signal Q Y between the calculated flow rate Q C and the set flow rate Q S. The method comprises, outputting a testing signal .DELTA.Qs having a testing amplitude Vo from a testing circuit provided separately or a flow rate setting circuit to the control valve CV, measuring the pressure amplitude V of the variable pressure .DELTA.P1 of the pressure P1 on the upstream side of the orifice that arises in response to actuation of the control valve CV and setting off an alarm for the clogging of the orifice when the pressure amplitude V is smaller than a limit amplitude Vt. If the testing signal .DELTA.Qs is superimposed on a steady-state set flow rate signal Qso and outputted to control the valve CV from the testing circuit or the flow rate setting circuit, the flow rate can be checked for abnormalities while controlling the flow rate by the steady-state set flow rate signal Qso.
L'invention concerne un procédé de détection de débit anormal consistant à détecter facilement l'obstruction d'un orifice tandis qu'un régulateur de débit de fluide sous pression utilisant un orifice régule ledit débit. Ledit procédé fait appel à un régulateur de débit (FCS) permettant le calcul du débit (Qc) du côté aval lorsque la pression côté amont P1 est maintenue à une valeur correspondant à au moins deux fois la pression côté aval P2, à partir de la relation Qc = KP1 (K: constante), et commandant le fonctionnement d'une soupape de régulation (CV) en fonction d'un signal Qy représentant la différence entre le débit calculé Qc et un débit préréglé Qs. Un circuit de contrôle ou un circuit de réglage de débit monté séparément envoie un signal de contrôle DELTA Qs d'une amplitude de contrôle V0 à la soupape de régulation (CV). L'amplitude de pression V d'une variation de pression DELTA P1 de la pression côté amont P1 apparaissant en réaction à l'ouverture/fermeture de la soupape de régulation (CV) est mesurée. Lorsque la valeur de l'amplitude de pression V passe en-dessous d'une valeur d'amplitude limite Vt, l'obstruction de l'orifice est annoncée et le procédé est ainsi mis en oeuvre. Si le signal de contrôle DELTA Qs est superposé à un signal de débit préréglé à l'état stationnaire Qs0 et que ces deux signaux sont émis ensemble par le circuit de contrôle ou par le circuit de réglage de débit et envoyés à la soupape de régulation (CV), un débit anormal peut être détecté, le débit étant régulé par le signal de débit préréglé à l'état stationnaire Qs0.
Dohi Ryousuke
Fukasawa Kazuo
Hirose Jun
Ideta Eiji
Iida Seiichi
Fujikin Incorporated
Iida Seiichi
Ohmi Tadahiro
Riches Mckenzie & Herbert Llp
Tokyo Electron Limited
LandOfFree
Method of detecting abnormalities in flow rate in... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Method of detecting abnormalities in flow rate in..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Method of detecting abnormalities in flow rate in... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1678650