G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 21/33 (2006.01)
Patent
CA 2699803
Methods and apparatus are described for delivering index-matching immersion liquid in high numerical-aperture optical microscopy and lithography. An array of immersion liquid droplets (70) is delivered to a specimen substrate or specimen substrate cover by an immersion liquid printing apparatus. An immersion liquid reservoir provides immersion liquid to the printer by a precision pump The printer delivers immersion liquid to the substrate or substrate cover in arrays of immersion liquid droplets of defined volumes and array patterns. The volumes and patterns of array droplets delivered to the substrate or substrate cover are optimized to maintain adequate immersion liquid between the substrate or substrate cover and an immersion objective while avoiding the formation of air bubbles in the immersion liquid and the accumulation of excess volumes of immersion liquid.
L'invention concerne des procédés et un appareil pour fournir un liquide d'immersion s'appariant à un indice dans une microscopie optique à grande ouverture numérique et une lithographie. Un réseau de gouttelettes de liquide d'immersion est formé sur un substrat échantillon ou un recouvrement de substrat échantillon par un appareil d'impression à liquide d'immersion. Un réservoir de liquide d'immersion fournit du liquide d'immersion à l'imprimante par une pompe de précision. L'imprimante fournit du liquide d'immersion au substrat ou au recouvrement de substrat sous la forme de réseaux de gouttelettes de liquide d'immersion et selon des volumes et des motifs de réseau définis. Les volumes et motifs de gouttelettes de réseau fournis au substrat ou au recouvrement de substrat sont optimisés pour maintenir du liquide d'immersion adéquat entre le substrat ou le recouvrement de substrat et un objectif à immersion tout en évitant la formation de bulles d'air dans le liquide d'immersion et l'accumulation de volumes excessifs de liquide d'immersion.
Dougherty William
Goodwin Paul C.
Reese Steven A.
Stewart David
Applied Precision Inc.
Fetherstonhaugh & Co.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1995661