F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 17 – D
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
17
D
F17D 1/02 (2006.01) B01J 4/00 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01)
Patent
CA 2134426
The present invention provides a method for alternately feeding reactive gas and inert gas into a chamber, and is preferably used in a semiconductor manufacturing plant to form films on wafers. The inert and reactive gas feed lines have shunt valves connected as branches to the primary sides of the line changeover valves, with a vent line being connected to the outlet sides of the shunt valves. The opening and closing operation of the line changeover valves and the shunt valves alternately feeds reactive gas and inert gas into the chamber, the lines being changed over after a specified time interval. The simultaneous evacuation and exhaustion of the vent line by a vacuum pump suppresses pressure fluctuations in the chamber during changeover of the gas feed lines.
La présente invention porte sur une méthode pour alimenter une chambre alternativement en gaz réactif et en gaz rare. De préférence, la méthode est utilisée dans une usine de fabrication de semi-conducteurs pour former une pellicule sur les tranches. Les conduites d'alimentation pour le gaz rare et le gaz réactif comportent des robinets de dérivation, reliés comme des branches aux côtés primaires des robinets de changement de conduites, et une tuyauterie de mise à l'air libre reliée aux sorties des robinets de dérivation. L'ouverture et la fermeture des robinets de changement de conduites et de dérivation permettent d'alimenter la chambre alternativement en gaz réactif et en gaz rare, le changement de conduites s'effectuant après un intervalle déterminé. L'évacuation et l'aspiration simultanées des gaz dans la tuyauterie de mise à l'air libre par une pompe à vide éliminent les variations de pression dans la chambre pendant le changement des conduites d'alimentation en gaz.
Ikeda Nobukazu
Minami Yukio
Kiyohara Masako
Riches Mckenzie & Herbert Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1410143