G - Physics – 01 – Q
Patent
G - Physics
01
Q
G01Q 60/24 (2010.01) G01Q 60/26 (2010.01) G01Q 60/28 (2010.01) G01B 5/28 (2006.01) G01N 13/00 (2006.01)
Patent
CA 2361759
The applied method is implemented in AFM-microscopy to get space distributions of surface properties and layers, placed on it. This method includes successive reading in predetermined points of the surface under control of force curve and subsequent constructions of images of appropriate distributions of parameters extracted from these force curves. The peculiarity of the method is that reading of force curve is carried out by noting of values of cantilever's deviation force and/or coordinate of its fixed end and/or derivatives from cantilever's deviation force of coordinate of its fixed end at least in points of control of force curve. Upon that, characteristics and parameters of sample's surface and/or surface layers, for instance, presence, quantity and thickness of surface layers, coordinates of sample's surface and limits of surface layers, as well as adhesion, elastic and friction properties of surtace and layers, are diagnosed by a number of points of control and/or noted values of cantilever's deviation force and/or coordinate of its fixed end and/or derivatives from cantilever's deviation force of coordinate of its fixed end in appropriate points.
Cette invention concerne un procédé utilisé en microscopie à force atomique et permettant d'obtenir des répartitions spatiales des propriétés d'une surface et de couches placées dessus. Ce procédé consiste à effectuer des lectures successives en des points prédéterminés de la surface sous le contrôle d'une courbe de force, puis à former des images des répartitions appropriées des paramètres que l'on extrait de ces courbes de force. Ce procédé se caractérise en ce que la lecture d'une courbe de force se fait en notant les valeurs d'une force de déviation en porte-à-faux et/ou les cordonnées de son extrémité fixe et/ou les dérivés de la force de déviation en porte-à-faux des coordonnées de son extrémité fixe, ceci aux points de contrôle au moins de la courbe de force. Les caractéristiques et les paramètres de la surface de l'échantillon et/ou des couches de surface (par exemple la présence, la quantité et l'épaisseur des couches de surface, les coordonnées de la surface de l'échantillon et les limites des couches de surface, ainsi que les propriétés d'adhérence, d'élasticité et de friction de la surface et des couches) sont analysés à l'aide d'un certain nombre de points de contrôle et/ou de valeurs notées d'une force de déviation en porte-à-faux et/ou des cordonnées de son extrémité fixe et/ou des dérivés de la force de déviation en porte-à-faux des coordonnées de son extrémité fixe aux points appropriés.
Dremov Vjacheslav Vsevolodovich
Kirpichnikov Alexei Petrovich
Molchanov Sergei Petrovich
Ridout & Maybee Llp
Zakrytoye Aktsionemoye Obschestvo "autex Ltd."
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1742713