B - Operations – Transporting – 06 – B
Patent
B - Operations, Transporting
06
B
B06B 1/02 (2006.01) G01H 11/06 (2006.01) H04R 19/00 (2006.01)
Patent
CA 2338374
An ultrasonic transducer and method of making the same is disclosed comprising applying a sacrificial material to a substrate (20), applying a polymer coating (24) over at least part of the sacrificial layer and the substrate (20), and removing at least part of the sacrificial material to leave a portion of the polymer coating defining a movable member to define a cavity, the polymer coating being applied in the mobile state. The sacrificial material may be removed by providing etch holes in the polymer coating and removing material through the holes.
L'invention concerne un transducteur ultrasonore et un procédé de fabrication dudit transducteur. Le procédé consiste à appliquer un matériau sacrificiel sur un substrat (20), à appliquer un revêtement polymérique (24) sur au moins une partie du matériau sacrificiel et du substrat (20), et à éliminer au moins une partie du matériau sacrificiel en y laissant une partie du revêtement polymérique pour délimiter un élément amovible lui-même délimitant une cavité, le revêtement polymérique étant appliqué à l'état mobile. Le matériau sacrificiel peut être éliminé à travers des trous de gravure pratiqués dans le revêtement polymérique à cette fin.
Bozeat Robert John
Noble Russell
Fetherstonhaugh & Co.
Qinetiq Limited
The Secretary Of State For Defence
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1713182