H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/66 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/44 (2006.01) H01L 21/50 (2006.01) H01L 23/02 (2006.01)
Patent
CA 2597289
A method of manufacturing a hermetically-sealed chamber with an electrical feedthrough includes the step of hermetically fixing an electrode to a substrate in a predetermined location on the substrate. A passage is formed through the substrate through the predetermined location such that at least a portion of the electrode is exposed to the passage. The passage is then at least partially filled with an electrically conductive material. A housing is then formed including the substrate such that the housing defines a chamber, with the electrode being disposed within the housing and the chamber being hermetically sealed. The electrode within the chamber can be placed in electrical communication with an exterior electrical component by way of the electrically conductive material in the passage.
L'invention concerne un procédé de fabrication d'une chambre fermée hermétiquement, comportant une connexion électrique. Ledit procédé consiste à fixer hermétiquement l'électrode sur un substrat dans une position prédéterminée, sur le substrat. Un passage est formé au travers du substrat, en direction de la position prédéterminée, de telle manière qu'au moins une partie de l'électrode soit exposée au passage. Le passage est ensuite rempli au moins partiellement d'un matériau électroconducteur. Un boîtier contenant le substrat est ensuite formé de manière à définir une chambre, l'électrode étant disposée dans le boîtier et la chambre étant fermée hermétiquement. L'électrode contenue dans la chambre peut être placée en communication électrique avec un composant électrique extérieur par l'intermédiaire du matériau électroconducteur contenu dans le passage.
Allen Mark
Cros Florent
Fonseca Michael
O'brian David
Park Jin Woo
Bereskin & Parr Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
Cardiomems Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1749313