C - Chemistry – Metallurgy – 04 – B
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
04
B
C04B 35/56 (2006.01) C04B 35/573 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/673 (2006.01)
Patent
CA 2478657
A method for manufacturing a silicon carbide sintered compact jig, characterized in that it has (a) a step of dispersing or dissolving a SiC powder or an organic material as a C source into a solvent, to prepare a mixed powder slurry; (b) a step of pouring the mixed powder slurry into a mold and drying it, to form a green compact, (c) a step of subjecting the green compact to calcination at 1500 to 2000~C under vacuum or in an inert gas atmosphere, to provide a calcinated compact, (d) a step of pre-forming the calcinated compact to prepare a pre-formed article, (e) a step of impregnating the pre- formed article with molten metallic Si by utilizing the capillary action, to thereby react the free carbon in the pre-formed article with the Si absorbed in the pre-formed article, to form a silicon carbide sintered compact, and (f) subjecting the silicon carbide sintered compact to precise working, to manufacture the silicon carbide sintered compact jig; and a silicon carbide sintered compact jig manufactured by the method. The method allows the saving of the time required for manufacturing a silicon carbide sintered compact jig.
Cette invention se rapporte à un procédé qui sert à fabriquer un gabarit compact fritté en carbure de silicium et qui se caractérise en ce qu'il comprend : (a) une étape consistant à disperser ou à dissoudre une poudre de SiC ou un matériau organique comme source de C dans un solvant, pour préparer une suspension épaisse de poudre mélangée ; (b) une étape consistant à déverser la suspension épaisse de poudre mélangée dans un moule et à la faire sécher, pour former une briquette verte, (c) une étape consistant à soumettre la briquette verte à une calcination à une température comprise entre 1 500 et 2 000· C sous vide ou dans une atmosphère de gaz inerte, pour produire une briquette calcinée, (d) une étape consistant à préformer la briquette calcinée pour préparer un article préformé, (e) une étape consistant à imprégner l'article préformé avec du Si métallique en fusion, en utilisant l'action capillaire, pour faire ainsi réagir le carbone libre se trouvant dans l'article préformé avec le Si absorbé dans l'article préformé, afin de former une briquette frittée en carbure de silicium, et (f) une étape consistant à soumettre la briquette frittée en carbure de silicium à un usinage précis pour réaliser la fabrication d'un gabarit compact fritté en carbure de silicium ; cette invention se rapportant en outre à un gabarit compact fritté en carbure de silicium fabriqué par ce procédé. Ce procédé permet de réaliser des économies de temps par rapport à la durée nécessaire à la fabrication d'un gabarit compact fritté en carbure de silicium.
Motoyama Tsuyoshi
Odaka Fumio
Shinogaya Toshikazu
Taguchi Jin-Ichi
Bridgestone Corporation
Ogilvy Renault Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1791185