Method of stimulating an oscillator control for capacitive...

G - Physics – 01 – P

Patent

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G01P 1/04 (2006.01) B06B 1/02 (2006.01) G01C 19/56 (2006.01) G01L 1/14 (2006.01) G01P 3/44 (2006.01) G01P 15/125 (2006.01) G05D 19/02 (2006.01)

Patent

CA 2238615

The present invention pertains to a method of capacitive stimulation of an oscillator control in sensors used for capacitive measurement of strengh, acceleration and especially rotation speed based on the Coriolis principle. In this method, the control is stimulated using high frequency pulse packs, free of continuous voltage and constant in amplitude, of which the width or phase angle relative to the stabilized oscillation speed is adjusted for the purpose of resetting to the initial state or correcting tolerances. Another embodiment of the inventive method allows, in case of electrode oscillators installed in pairs and symmetrically relative to the rotation axis, for high frequency voltages to be obtained that are identical and constant in amplitude. The frequency chosen for these voltages is clearly above the oscillator frequency, resulting in a certain attractive force acting upon the oscillator by shifting the mutual phase lag in the control voltages. In the case of rotation speed sensors the setting of which is based on the closed-loop principle, a resetting to the initial state may also be ensured. The invention also enables problems related to coupling the stimulating signal in the selector channel of a micromechanical oscillator system to be overcome.

La présente invention porte sur un procédé d'excitation capacitive de commande d'oscillateurs dans des capteurs servant à mesurer en régime capacitif la force, l'accélération et plus particulièrement la vitesse de rotation selon le principe de Coriolis. Selon ce procédé, on excite la commande en utilisant des paquets d'impulsions haute fréquence, sans tension continue et constants en amplitude, dont la largeur ou le déphasage par rapport à la vitesse d'oscillation stabilisée est réglée aux fins de la remise à l'état initial ou de la correction des tolérances. On peut également concevoir le procédé de telle manière que dans le cas d'oscillateurs à électrodes d'excitation installées par paires et symétriques par rapport à l'axe de rotation, on obtienne des tensions haute fréquence identiques et constantes en amplitude. La fréquence de ces tensions étant choisie nettement au dessus de la fréquence propre de l'oscillateur, il en résulte une certaine force d'attraction qui agit sur l'oscillateur par déplacement du déphasage mutuel des tensions de commande. Dans le cas de capteurs de vitesse de rotation fonctionnant selon le principe du réglage à boucle fermée, on peut également assurer une remise à l'état initital. La présente invention permet enfin de bien maîtriser les problèmes liés au couplage du signal d'excitation dans le canal sélecteur d'un système d'oscillateur micromécanique.

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