Methode for fabrication microblade device and application of...

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G - Physics

09

F

26/197

G09F 9/37 (2006.01) G02B 26/02 (2006.01)

Patent

CA 1256683

PRECIS DE LA DIVULGATION: Procédé de fabrication d'un dispositif à micro- volets et application d'un tel procédé pour l'obtention d'un dispositif de modulation de lumière. Le procédé com- prend les étapes de la réalisation d'une première grille présentant des alvéoles; de l'obtention d'un support plan par dépôt d'une couche de matière organigue; de la réali- sation d'une deuxième grille sur la couche; du dépôt d'une fine couche métallique et gravure dans cette couche des volets; et de l'élimination de la couche dans les alvéoles, en vue de libérer les volets.

467912

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