G - Physics – 01 – Q
Patent
G - Physics
01
Q
G01Q 20/02 (2010.01) G01Q 60/38 (2010.01)
Patent
CA 2404604
A probe module for atomic force microscopy has a substrate (33) and a deflectable cantilever probe (4) projecting from it. In the head of the atomic force microscope the probe is mounted with its axis perpendicular to the sample surface, e.g. so as to carry out shear force microscopy or transverse dynamic force microscopy. The cantilever probe (4) has a reflective surface (43) which is directed back up along the probe so that movement of the probe tip can be tracked using a light beam arrangement which in itself may be conventional. By this means, AFM procedures in perpendicular modes can be carried out using AFM heads requiring little modification from the conventional near-parallel mode arrangement. The probe may also be used in tapping mode to investigate sidewall features on a sample surface.
L'invention concerne un module sonde permettant la microscopie à force atomique, qui présente un substrat et une sonde (4) en porte-à-faux orientable faisant saillie à partir de celui-ci. Dans la tête du microscope à force atomique, la sonde est montée de telle sorte que son axe soit perpendiculaire à la surface d'échantillon, par exemple de façon qu'il soit possible de réaliser une microscopie à force de cisaillement ou une microscopie à force dynamique transversale. La sonde (4) à porte-à-faux présente une surface (43) réfléchissante qui est dirigée vers le haut le long de la sonde de sorte que la pointe de la sonde peut être suivie au moyen d'un dispositif à faisceau lumineux qui en lui-même peut être classique. Par ce moyen, les opérations de microscopie à force atomique (AFM) en mode perpendiculaire peuvent être réalisées au moyen de têtes AFM avec peu de modification à partir du dispositif à mode quasi parallèle classique. La sonde peut être utilisée également en mode vertical pour l'examen de caractéristiques des parois latérales sur une surface d'échantillon.
Antognozzi Massimo
Humphris Andrew David Laver
Mcmaster Terence James
Miles Mervyn John
Robic
University Of Bristol
LandOfFree
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