B - Operations – Transporting – 08 – B
Patent
B - Operations, Transporting
08
B
B08B 3/10 (2006.01) B08B 3/12 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01)
Patent
CA 2111784
Cleaning methods and apparatus for removing particulate materials from the surfaces of objects are disclosed. Megasonic vibrations are utilized to cause a liquid cleaning fluid in a first reservoir to rise above the upper end of the first reservoir, contact the surface of the object to be cleaned and flow over a weir at the upper end of the first reservoir into a second reservoir. The methods and apparatus are useful to remove small particles, e.g. having a particle size of less than about 1 micron, from flat or curved planar surfaces. The methods and apparatus can be integrated with subsequent processing steps, e.g. applying thin film coatings, without intermediate handling of the objects.
Méthodes et appareil pour enlever des matières particulaires sur la surface d'objets. Des mégasons sont utilisés pour faire jaillir un liquide nettoyant se trouvant dans un premier réservoir, au-dessus de l'extrémité supérieure de ce premier réservoir, le faire entrer en contact avec la surface de l'objet à nettoyer et le faire s'écouler d'un déversoir se trouvant à l'extrémité supérieure du premier réservoir, dans un deuxième réservoir. Les méthodes et appareil sont utiles pour éliminer des particules d'une taille de moins d'un micromètre environ sur des surfaces planes ou décrivant une courbe plane. Les méthodes et l'appareil peuvent être intégrés à d'autres étapes de traitement, p. ex. l'application de minces pellicules, sans manutention intermédiaire des objets.
Sim & Mcburney
Specialty Coating Systems Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1997204