G - Physics – 06 – F
Patent
G - Physics
06
F
G06F 19/00 (2006.01) G01R 31/01 (2006.01)
Patent
CA 2515784
A method and apparatus for testing semiconductors according to various aspects of the present invention comprises at test system comprising composite data analysis element configured to analyze data from more than one dataset. The test system may be configured to provide the data in an output report. The composite data anaylsis element suitable performs a spatial analysis to identify patterns and irregularities in the composite data set. The composite data analysis element may also operate in conjunction with a various other analysis systems, such as a cluster detection system and an exclusion system, to refine the composite data analysis. The composite may also be merged into other data.
Cette invention concerne, selon divers aspects, un procédé et un appareil permettant de tester des semi-conducteurs et comprenant un système de test comportant un élément d'analyse de données composites conçu pour analyser des données appartenant à plus d'un ensemble de données. Ce système de test peut être conçu pour introduire les données dans un rapport de sortie. L'élément d'analyse de données composites effectue de manière appropriée une analyse spatiale permettant d'identifier des motifs et des irrégularités dans l'ensemble de données composites. L'élément d'analyse de données composites peut également fonctionner conjointement à divers autres systèmes d'analyse, tels qu'un système de détection de grappes et un système d'exclusion, de façon que l'analyse de données composites soit plus précise. Les données composites peuvent également être combinées en d'autres données.
Gowling Lafleur Henderson Llp
Test Advantage Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1957295