Methods of fabricating complex two-dimensional conductive...

H - Electricity – 01 – B

Patent

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H01B 1/04 (2006.01) C30B 25/00 (2006.01) C30B 29/10 (2006.01) C30B 29/60 (2006.01)

Patent

CA 2734673

In an embodiment, a conductive silicide nanostructure (200) includes a plurality of two-dimensional nanonet sheets (201), wherein each of the nanonet sheets (201) include connected and spaced-apart nanobeams (202) linked together at an about 90-degree angle. In an embodiment, the plurality of nanonet sheets (201) are stacked approximately horizontally. In an embodiment, the plurality of nanonet sheets (201) have an electrical resistivity of approximately µ.OMEGA..cndot.cm. In an embodiment, a method of fabricating a two- dimensional conductive silicide includes performing chemical vapor deposition, wherein one or more gas or liquid precursor materials carried by a carrier gas stream react to form a nanostructure (200) having a mesh-like appearance and including a plurality of connected and spaced-apart nanobeams (202) linked together at an about 90-degree angle.

Dans un mode de réalisation, une nanostructure en siliciure conducteur (200) comprend une pluralité de feuilles de nanoréseau bidimensionnel (201), chacune desdites feuilles (201) comprenant des nanofaisceaux connectés et espacés (202) reliés ensemble en formant un angle denviron 90 degrés. Dans un mode de réalisation, les feuilles de la pluralité de feuilles de nanoréseau (201) sont empilées approximativement horizontalement. Dans un mode de réalisation, la pluralité desdites feuilles (201) présente une résistivité électrique denviron 10 µO-cm. Dans un mode de réalisation, un procédé de fabrication dun siliciure conducteur bidimensionnel comprend la réalisation dun dépôt chimique en phase vapeur, un ou plusieurs matériaux précurseurs gazeux ou liquides transportés par un courant de gaz porteur réagissant pour former une nanostructure (200) ayant une apparence de mailles et incluant une pluralité de nanofaisceaux connectés et espacés (202) reliés ensemble en formant un angle denviron 90 degrés.

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