C - Chemistry – Metallurgy – 40 – B
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
40
B
C40B 40/00 (2006.01) G01Q 30/20 (2010.01) B82B 3/00 (2006.01) C40B 50/18 (2006.01) C40B 60/14 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) G11B 9/14 (2006.01) G01Q 60/00 (2010.01) G01Q 60/24 (2010.01)
Patent
CA 2411198
The invention provides a lithographic method referred to as "dip pen" nanolithography (DPN). DPN utilizes a scanning probe microscope (SPM) tip (e.g., an atomic force microscope (AFM) tip) as a "pen", a solid-state substrate (e.g., gold) as "paper", and molecules with a chemical affinity for the solid-state substrate as "ink". Capillary transport of molecules from the SPM tip to the solid substrate is used in DPN to directly write patterns consisting of a relatively small collection of molecules in submicrometer dimensions, making DPN useful in the fabrication of a variety of microscale and nanoscale devices. The invention also provides substrates patterned by DPN, including submicrometer combinatorial arrays, and kits, devices and software for performing DPN. The invention further provides a method of performing AFM imaging in air. The method comprises coating an AFM tip with a hydrophobic compound, the hydrophobic compound being selected so that AFM imaging performed using the coated AFM tip is improved compared to AFM imaging performed using an uncoated AFM tip. Finally, the invention provides AFM tips coated with the hydrophobic compounds.
L'invention concerne un procédé lithographique appelé nanolithographie <=par microscope à force atomique à pointe encreuse>= (DPN).Celle-ci met en oeuvre une pointe de microscope-sonde à balayage (SPM) (par exemple, une pointe de microscope à force atomique (AFM)) comme <=pointe encreuse>=, un substrat à l'état solide (par exemple, de l'or) comme <=papier>= et des molécules possédant une affinité chimique pour le substrat à l'état solide comme <=encre>=. Un transport capillaire de molécules à partir de la pointe SPM vers le substrat solide est utilisé dans la DPN, en vue d'écrire de manière directe des structures consistant en un ensemble relativement faible de molécules dans des dimensions submicromètres, rendant la DNP utile dans la fabrication d'une variété de dispositifs à microéchelle et nanoéchelle. L'invention concerne également des substrats structurés par la DNP, notamment des matrices combinatoires submicromètres et des kits, des dispositifs et logiciels permettant d'effectuer la DNP. L'invention concerne en outre un procédé permettant d'effectuer une imagerie AFM dans l'air. Ce procédé consiste à revêtir une pointe AFM d'un composé hydrophobe, celui-ci étant sélectionné de manière que l'imagerie AFM effectuée au moyen de la pointe revêtue AFM soit améliorée comparativement à l'imagerie AFM effectuée au moyen d'une pointe AFM non revêtue. L'invention concerne en fin des pointes AFM revêtues de composés hydrophobes.
Hong Seunghun
Mirkin Chad A.
Piner Richard
Bereskin & Parr Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
Northwestern University
LandOfFree
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