Micro-bridge structure

Details Micro-bridge structure Micro-bridge structure

G - Physics

01

J

G01J 5/20 (2006.01)

Patent

CA 2381311

A method of fabricating a micro-bridge device (14, 16) onto a substrate (20). The method includes the steps of: pro-viding a sacrificial material (32) on a surface region of the substrate (20); patternwise etching the sacrificial material (32); providing a sensing material (34) on a surface region of the sacrificial material; providing a support material (36) on a surface region of the sensing material; and removing the sacrificial material (32) leaving support material (36) with the sensing material (34) on its lower surface, substantially free standing above the substrate (20).

La présente invention concerne un procédé destiné à fabriquer un dispositif de micro-pont (14, 16) sur un substrat (20). Ce procédé consiste à déposer un matériau sacrificiel (32) sur une partie de la surface du substrat (20), à graver le matériau sacrificiel (32) selon un motif, à placer un matériau de détection (34) sur une partie de la surface du matériau sacrificiel, à placer un matériau support (36) sur une partie de la surface du matériau détecteur, et à éliminer le matériau sacrificiel (32) laissant le matériau support (36), avec le matériau détecteur (34) sur sa surface inférieure, sensiblement libre au dessus du substrat (20).

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Profile ID: LFCA-PAI-O-1925939