Micro gas rheostat

Details Micro gas rheostat Micro gas rheostat

G - Physics

05

D

G05D 7/00 (2006.01) B64G 1/26 (2006.01) B64G 1/40 (2006.01) F02K 9/80 (2006.01) F15C 5/00 (2006.01) F16K 49/00 (2006.01) H01L 23/04 (2006.01)

Patent

CA 2257341

A device and method for controlling small flows of gas for satellite orientation thrusters comprises a photoetched silicon body (10) etched to provide one or more particular flow paths, and optionally filters, wherein the flow path is defined by the silicon body (10) and a sealing glass layer (11) bonded thereto. Flow is controlled through the flow path(s) by heating the body (10) to decrease the gas flow.

L'invention concerne un dispositif et un procédé pour réguler de faibles écoulements de gaz pour des propulseurs d'orientation de satellite. Ce dispositif comporte un corps silicium photogravé (10) dont la gravure permet d'obtenir un ou plusieurs trajets d'écoulement particuliers, et éventuellement des filtres, le trajet d'écoulement étant défini par le corps silicium (10) et une couche de verre de scellement (11) adhérisée sur celui-ci. L'écoulement est régulé, par l'intermédiaire du ou des trajets d'écoulement, par chauffage du corps (10) pour diminuer l'écoulement de gaz.

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