G - Physics – 01 – C
Patent
G - Physics
01
C
G01C 19/56 (2006.01)
Patent
CA 2756485
A micro gyroscope for determining rotatio-nal movements about three spatial axes x, y and z, which are perpendicular to one another has a substrate (1) on which a plurality of masses (2, 3) oscillating tangentially about the z axis, which is perpendicular to the substrate (1), are arranged. The oscillating masses (2, 3) are fastened on the substrate (1) by means of springs (5, 6, 8) and tie bolts (7, 9). Driving elements (11) serve to maintain oscil-lating, tangential vibrations of the masses (2, 3) about the z axis, as a result of which, upon rotation of the substrate (1) about any spatial axis, the masses (2, 3) are subjected to Corolis forces and deflections caused as a result. Sensor elements detect the deflections of the masses (2, 3) on the basis of the Corolis forces generated. Some of the masses (2, 3) oscillating about the z axis are mounted in a tiltable manner substantially about the x axis which runs parallel to the substrate (1). Others of the masses (2, 3) oscillating about the z axis are mountable in a tiltable manner sub-stantially about the y axis, which likewise runs parallel to the substrate (1). At least one other of the oscillating mas-ses (2, 3) can be additionally at least partially deflected substantially radially to the z axis in the x - y plane paral-lel to the plane of the substrate (1). Said additionally radi-ally deflectable z mass (3) is assigned a sensor element (12) which can likewise be deflected radially with respect to the z axis but does not oscillate about the z axis.
L'invention concerne un microgyroscope pour la détermination de mouvements de rotation autour de trois axes dans l'espace x, y et z perpendiculaires entre eux, comprenant un substrat (1) sur lequel sont disposées plusieurs masses (2, 3) oscillant tangentiellement autour de l'axe z perpendiculaire au substrat (1). Les masses oscillantes (2, 3) sont fixées au moyen de ressorts (5, 6, 8) et d'ancrages (7, 9) sur le substrat (1). Des éléments d'entraînement (11) servent à entretenir les vibrations tangentielles oscillantes des masses (2, 3) autour de l'axe z, de sorte que les masses (2, 3), lors d'une rotation du substrat (1) sont soumises, autour d'un axe quelconque dans l'espace, à des forces de Coriolis, et à des déplacements ainsi occasionnés. Des éléments capteurs détectent les déplacements des masses (2, 3), consécutifs aux forces de Coriolis produites. Quelques-unes des masses (2, 3) oscillant autour de l'axe z sont positionnées de manière à basculer sensiblement autour de l'axe x s'étendant parallèlement au substrat (1). D'autres masses (2, 3) oscillant autour de l'axe z sont positionnées de manière à basculer sensiblement autour de l'axe y s'étendant, de même, parallèlement au substrat (1). Au moins une autre des masses oscillantes (2, 3) est déplaçable en outre, au moins partiellement, sensiblement radialement à l'axe z, dans le plan x-y, parallèlement au plan du substrat (1). A cette masse z (3), déplaçable en outre radialement, est associé un élément capteur (12), déplaçable de même, radialement vis-à-vis de l'axe z, mais n'oscillant pas toutefois autour de l'axe z.
Norton Rose Or S.e.n.c.r.l. S.r.l./llp
Sensordynamics Ag
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1364390