Micro-inductance or micro-transformer micro-components, and...

H - Electricity – 01 – F

Patent

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H01F 41/14 (2006.01) H01F 17/00 (2006.01) H01F 19/04 (2006.01) H01F 27/00 (2006.01) H01F 41/04 (2006.01)

Patent

CA 2308871

Procédé de fabrication d'un micro-composant électrique tel que micro- inductance ou micro-transformateur, incluant au moins un bobinage, et comprenant une couche de substrat, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes consistant - à graver sur le substrat une pluralité de canaux disposés de façon ordonnée selon une bande (3), et orientés sensiblement perpendiculairement à ladite bande (3) ; - à déposer par électrolyse, du cuivre dans lesdits canaux de façon à former une pluralité de segments (7) ; - à planariser la face supérieure du substrat et de la pluralité de segments (7) ; - à déposer au-dessus dudit substrat (1) et desdits segments (7), au moins une couche destinée à former un noyau; - à graver le noyau pour ne le conserver qu'au-dessus de ladite bande; - à déposer par électrolyse au-dessus du noyau (15), une pluralité d'arches (18), chaque arche reliant une extrémité d'un segment (7) avec une extrémité d'un segment adjacent, en passant au-dessus dudit noyau.

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