G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 26/08 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01)
Patent
CA 2672797
The present invention relates to a method for producing a micro-mirror actuator and the corresponding actuator. In the method, the actuator is generated from a layered construction made of at least three main layers (101, 103, 107), which are at least sectionally electrically insulated from one another via intermediate layers (102, 104, 106). The layers are structured to form the micro-mirror element and the electrodes, the structuring being performed in such a way that a closed frame (310) is formed from at least the uppermost layer (107) around the inner area of the actuator, which allows a hermetic encapsulation of the inner area by application of a cover plate onto the frame. Furthermore, a conductor level (105), which is electrically insulated from these layers via the intermediate layers, is generated between at least two of the layers and structured to form conductor paths, via which one or more electrodes may be electrically contacted from outside the frame (310) after the formation of contact openings in one or more of the intermediate layers (102, 104, 106). A hermetically sealed encapsulation of the inner area of actuator may already be achieved easily at the wafer level using the method.
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un actionneur à micro-miroir et un actionneur correspondant. L'actionneur est produit à partir d'une structure de couches composée d'au moins trois couches principales (101, 103, 107) au moins partiellement isolées électriquement l'une par rapport à l'autre au moyen de couches intermédiaires (102, 104, 106). Les couches sont structurées pour la formation de l'élément de micro-miroir et des électrodes, la structuration étant réalisée de manière à former un cadre fermé (310) à partir d'au moins la couche principale supérieure (107) autour de la zone intérieure de l'actionneur, ledit cadre permettant un encapsulage hermétique de la zone intérieure par application d'une plaque de couverture sur le cadre. Entre au moins deux couches, un plan de pistes conductrices (105) isolé électriquement par rapport à ces couches au moyen des couches intermédiaires, est produit et structuré pour former des pistes conductrices permettant de mettre en contact électrique une ou plusieurs électrodes depuis l'extérieur du cadre (310) après formation d'ouvertures de contact dans une ou plusieurs couches intermédiaires (102, 104, 106). Ledit procédé permet d'obtenir, de façon simple, un encapsulage hermétique de la zone intérieure de l'actionneur au niveau de la plaquette.
Hofmann Ulrich
Oldsen Marten
Cameron Ip
Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1596557