Micro-thermistor gas pressure sensor

G - Physics – 01 – L

Patent

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Details

G01L 9/02 (2006.01) G01L 21/12 (2006.01)

Patent

CA 2746336

The invention provides an apparatus and method for precisely measuring gas pressure over a large dynamic range and with good immunity to temperature fluctuations, encompassing applications such as gas sensing, bolometer imaging and industrial process monitoring. The micro-thermistor gas pressure sensor assembly consists of a suspended platform micro-thermistor sensor device exposed to the gas pressure of a given atmospheric environment, an electrical readout circuit connected to the suspended platform micro-thermistor sensor device, wherein the suspended platform micro-thermistor sensor device acts as a variable electrical resistance in said readout electrical circuit, a binary-wave voltage source connected to the suspended platform micro-thermistor sensor device, and an ohmmeter.

L'invention concerne un appareil et un procédé permettant de mesurer avec précision la pression d'un gaz sur une plage dynamique étendue, avec une bonne immunité contre les fluctuations de température. Les applications envisageables sont la détection des gaz, l'imagerie par bolomètre et la surveillance des procédés industriels. L'ensemble capteur de pression de gaz à micro-thermistance est constitué d'un dispositif de détection à micro-thermistance sur plate-forme suspendue exposé à la pression d'un gaz dans un environnement atmosphérique donné, d'un circuit électrique de lecture connecté au dispositif de détection à micro-thermistance sur plate-forme suspendue, le dispositif de détection à micro-thermistance sur plate-forme suspendue jouant le rôle de résistance électrique variable dans ledit circuit électrique de lecture, d'une source de tension à onde binaire connectée au dispositif de détection à micro-thermistance sur plate-forme suspendue et d'un ohmmètre.

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