Microcavities production process and its application to an...

Details Microcavities production process and its application to an... Microcavities production process and its application to an...

G - Physics

01

N

324/25

G01N 27/409 (2006.01) G01N 30/60 (2006.01)

Patent

CA 1313898

ABREGE PROCEDE DE REALISATION DE MICROCAVITES ET APPLICATION A UN CAPTEUR ELECTROCHIMIQUE L' invention concerne un procédé de réalisa- tion d'une microcavité prévue sous une couche d'émail. Pour cela on prévoit une couche (Ca) d'un matériau à base de carbone ayant les dimensions de la microcavité à obtenir. Cette couche (Ca) est recouverte d'un émail (S1) sauf dans une zone réduite (G). L'ensemble est porté à haute température de façon à provoquer la com- bustion du matériau à base de carbone. Les gaz de combustion s'échappent par la zone réduite (G). L'in- vention est applicable à la réalisation de capteurs d'oxygène et de microchromatographes.

578062

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