Microelectromechanical component

H - Electricity – 03 – H

Patent

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H03H 9/125 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) H01H 50/00 (2006.01) H03H 9/02 (2006.01) H03H 9/24 (2006.01) H01H 59/00 (2006.01)

Patent

CA 2389820

Composant microélectromécanique (1) assurant des fonctions de filtrage, réalisé sur un substrat à base de matériau semi-conducteur, et comportant deux bornes d'entrée et deux bornes de sortie, caractérisé en ce qu'il comporte également : .cndot. un équipage mobile (4) relié au substrat par au moins une portion déformable, et incluant une région réalisée en un matériau ferromagnétique ; .cndot. un bobinage métallique (5) relié aux bornes d'entrée ou de sortie (30, 31), apte à interagir magnétiquement avec la région en matériau ferromagnétique de l'équipage mobile (4) ; .cndot. une surface formant une première électrode (6), reliée à une des bornes de sortie ou d'entrée, disposée en regard d'une surface complémentaire solidaire de l'équipage mobile (4), cette surface complémentaire formant une seconde électrode reliée à l'autre des bornes de sortie ou d'entrée, et étant apte à interagir électrostatiquement avec la première électrode (6).

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