Microelectromechanical positioning apparatus

Details Microelectromechanical positioning apparatus Microelectromechanical positioning apparatus

B - Operations, Transporting

25

J

B25J 7/00 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) G01B 7/004 (2006.01) G01B 7/34 (2006.01) G01B 21/00 (2006.01) G01N 27/00 (2006.01)

Patent

CA 2304723

A microelectromechanical (MEMS) positioning apparatus is provided that can precisely microposition an object in each of the X, Y and Z directions. The MEMS positioning apparatus includes a reference surface, a support disposed in a fixed position to the reference surface, and a stage defining a XY plane that is suspended adjacent to the support and over at least a portion of the reference surface. The MEMS positioning apparatus also includes at least one and, more typically, several actuators for precisely positioning the stage and, in turn, objects carried by the stage. For example, the MEMS positioning apparatus can include first and second MEMS actuators for moving the stage in the XY plane upon actuation. In addition, the MEMS positioning apparatus can include a Z actuator, such as a thermal bimorph structure, for moving the stage in the Z direction.

La présente invention concerne positionneur microélectromécanique (MEMS) capable de positionner avec précision un objet selon les axes X, Y, et Z. Ce positionneur comporte une surface de référence, un support disposé en une position fixe par rapport à la surface de référence, et une platine définissant un plan selon X et Y, en surplomb contre le support et au-dessus d'une partie au moins de la surface de référence. Ce positionneur microélectromécanique comporte également au moins un actionneur, mais plus généralement plusieurs actionneurs permettant de positionner avec précision la platine, et partant, des objets portés par la platine. Ainsi, le positionneur microélectromécanique peut comporter un premier et un second actionneur assurant les translations de la platine selon X et Y. En outre, le positionneur microélectromécanique peut comporter un actionneur selon Z, tel qu'une structure biomorphe thermique, permettant de déplacer la platine selon l'axe Z.

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