F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 03 – G
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
03
G
F03G 7/06 (2006.01) H01H 1/00 (2006.01) H01H 19/00 (2006.01) H01H 61/00 (2006.01)
Patent
CA 2332835
MEMS (Microelectromechanical System) structures are provided that are designed to rotate in response to thermal actuation or the like. In one embodiment, the MEMS rotary structure includes a hub having one or more radial spoke members that impose a rotational force upon the hub in response to applied changes in temperature. The MEMS rotary structure can also include a ring at least partially encircling the hub and connected to the hub by means of one or more hub spoke members. Controllable clockwise, counterclockwise, or both clockwise and counterclockwise rotation of the hub or ring are provided. The MEMS rotary structures can also include thermal arched beam actuators that are operably connected to the spoke member. As the temperature changes, the thermal arched beam actuators move the spoke members in order to rotate the MEMS structure. Various applications are provided for these rotating MEMS structures, including but not limited to rotary actuators, rotary switches and relays, variable capacitors, variable resistors, shutters, and valves.
L'invention se rapporte à des structures MEMS (système micro-électromécanique) qui sont conçues pour tourner en réponse à une activation thermique ou analogue. Dans une réalisation, la structure rotative MEMS comporte un moyeu pourvu d'un ou de plusieurs éléments radiaux de type rayons qui appliquent une force de rotation au moyeu en réponse à des changements appliqués de température. La structure rotative MEMS peut également comporter un anneau encerclant au moins partiellement le moyeu et relié à ce dernier par un ou plusieurs éléments de type rayons. Le moyeu et l'anneau peuvent tourner de manière régulée dans le sens des aiguilles d'une montre, dans le sens inverse des aiguilles d'une montre ou alternativement dans ces deux sens de rotation. Ces structures rotatives MEMS peuvent également comporter des actionneurs thermiques qui agissent sur des éléments transversaux arqués et sont fonctionnellement reliés à l'élément de type rayon. Lorsque la température change, les actionneurs thermiques agissant sur les éléments transversaux arqués déplacent les éléments de type rayon de manière à faire tourner la structure MEMS. L'invention se rapporte à diverses applications de ces structures MEMS rotatives, et notamment, mais pas exclusivement, à des actionneurs rotatifs, à des commutateurs et relais rotatifs, à des condensateurs variables, à des résistances variables et à des robinets.
Cronos Integrated Microsystems Inc.
Memscap S.a.
Sim & Mcburney
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1421844