G - Physics – 01 – D
Patent
G - Physics
01
D
G01D 5/02 (2006.01) G01C 19/5719 (2012.01)
Patent
CA 2661525
A microelectromechanical sensor (30) has: at least one movable electrode (29), an electrode arrangement (311 to 314) which is at a distance from the movable electrode (29) and has a plurality of electrodes which can be driven separately and to which corresponding electrode signals (uo1, uo2, uu1, uu2) can be applied, wherein the electrode signals can be used to electrostatically set/change the application of force, the spring constant and the read-out factor of the movable electrode (29), an electrode signal generation unit (32) which is connected to the electrode arrangement (311 to 314) and can be supplied with a force application signal (f), a spring constant signal (.DELTA..omega.) and a read-out factor signal (m), which define the settings/changes which need to be made as regards the application of force, the spring constant and the read-out factor of the movable electrode (29), wherein the electrode signal generation unit (32) generates each electrode signal (uo1, uo2, Uu1, uu2) on the basis of the force application signal, the spring constant signal and the read-out factor signal (f, .DELTA..omega., m) and matches the electrode signals to one another in such a manner that the application of force, the spring constant and the read-out factor of the movable electrode (29) can be set/changed to particular desired values independently of one another.
Capteur (30) microélectromécanique comprenant au moins une électrode (29) mobile, un arrangement (311 à 314) d'électrodes espacé de l'électrode (29) mobile et comprenant plusieurs électrodes commandables séparément auxquelles peuvent être appliqués des signaux (uo1, uo2, uu1, uu2) d'électrode correspondants. Selon l'invention, la force appliquée, la constante élastique et le facteur de lecture de l'électrode (29) mobile peuvent être réglés/modifiés de manière électrostatique au moyen des signaux d'électrode. L'objet de l'invention comprend également une unité (32) de génération de signaux d'électrode reliée avec l'arrangement (311 à 314) d'électrodes et à laquelle peuvent être acheminés un signal (f) de force appliquée, un signal (.DELTA..omega.) de constante élastique et un signal (m) de facteur de lecture par le biais desquels sont déterminés les réglages/modifications à effectuer du point de vue de la force appliquée, de la constante élastique et du facteur de lecture de l'électrode (29) mobile. Selon l'invention, l'unité (32) de génération de signaux d'électrode génère chaque signal (uo1, uo2, Uu1, uu2) d'électrode en fonction du signal (f, .DELTA..omega., m) de force appliquée, de constante élastique et de facteur de lecture et accorde les signaux d'électrode les uns aux autres de telle sorte que la force appliquée, la constante élastique et le facteur de lecture de l'électrode (29) mobile peuvent être réglés/modifiés indépendamment à des valeurs de consigne données.
Brouillette & Associes/partners
Northrop Grumman Litef Gmbh
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1611145