G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 9/02 (2006.01) G01J 3/26 (2006.01) G02B 26/00 (2006.01) H01L 21/20 (2006.01) H01S 5/183 (2006.01) G02B 6/12 (2006.01) G02B 6/42 (2006.01) G02B 26/08 (2006.01) H01S 5/14 (2006.01)
Patent
CA 2316858
A method of fabricating microelectromechanically tunable vertical-cavity surface-emitting laser (4) and microelectromechanically tunable Fabry-Perot filter (2) with precise lateral and vertical dimensional control is disclosed. Strained reflective dielectric film stack (6) are applied to multiple quantum- well structure to electronically band-gap-engineer the quantum wells. Strain in the reflective dielectric layers is used to create a curvature in one of the reflective dielectric film stacks to form a confocal-cavity (8) between a planar reflective dielectric film stack (10) and a curved reflective film stack (12) in the laser or filter, which are also provided with suspended membrane structure (37) that supports a cavity-tuning dielectric film stack, while being anchored at the perimeter by a meatal support posts (38). Precise air-cavity length and lateral dimensions are achieved by micro-die-casting using a sacrificial material of polyamide or aluminum. Furtheing reflective dielectric film stack in a controlled electrostatic field.
L'invention porte sur un procédé de fabrication de lasers à émission par la surface et à cavité verticale accordable par microélectromécanique et sur des filtres Fabry-Perot accordables microélectromécaniquement et présentant une régulation précise de leurs dimensions latérales et verticales. Des films diélectriques, réfléchissants, tendus, sont appliqués sur une structure à plusieurs puits quantiques de façon à créer électroniquement une largeur de bande interdite dans les puits quantiques. Une déformation appropriée des couches du film diélectrique réfléchissant est utilisée également pour créer une courbure appropriée dans l'une des superpositions de films diélectriques réfléchissants de façon à former une cavité confocale entre une couche plane et la couche incurvée de film diélectrique réfléchissant du laser ou filtre à émission par la surface et à cavité verticale. L'invention porte également sur des lasers ou structures de filtration à émission par la surface et à cavité verticale accordable microélectromécaniquement qui comprennent une structure membranaire suspendue formée dans une membrane diélectrique/métallique ou un film métallique qui supporte une superposition de films diélectriques réfléchissants accordant la cavité tout en étant fixé sur le périmètre par des éléments de support métalliques. On obtient des dimensions précises des parties latérales et de la longueur de la cavité d'air en effectuant un micro-coulage sous pression d'un disque d'aluminium ou de polyimide sacrificiel micro-usiné. En outre, l'accord est réalisé par un mouvement de translation de la superposition de films diélectriques réfléchissants accordant la cavité dans un champ électrostatique régulé.
Azimi Masud
Tayebati Parviz
Vakhshoori Daryoosh
Wang Peidong
Coretek Inc.
Macrae & Co.
LandOfFree
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