G - Physics – 01 – C
Patent
G - Physics
01
C
G01C 19/56 (2006.01)
Patent
CA 2470840
The invention concerns rate gyros with micromachined oscillating system in a silicon substrate. The invention discloses an original oscillating system with two mobile masses (14 and 14'), linked by a vibrational energy coupling structure ( transverse arms (26, 26'), longitudinal arms (22, 22'), and short transverse attachment (24) between the longitudinal connections (22, 22')). The mobile masses are further suspended to U-shaped flexural arms (13) having one branch end linked to the mass and another end linked to a fixed anchorage point (18). The flexural arms are not interposed between the coupling structure and the mass but are independent of the coupling structure. The masses are excited in vibration in their plane by electrostatic forces applied with interdigital parts (11). The Coriolis forces cause them to vibrate perpendicularly to the plane and said vibration is detected by electrodes forming part of the mobile masses. The invention is useful for measuring angular speeds in aeroplanes, motor vehicles, robots and the like.
L'invention concerne les gyromètres à structure vibrante micro-usinée dans un substrat de silicium. II est décrit une structure vibrante originale avec deux masses mobiles 14 et 14', reliées par une structure de couplage d'énergie de vibration (bras transversaux 26, 26', bras longitudinaux 22, 22', et liaison courte transversale 24 entre les liaisons longitudinales 22, 22'). Les masses mobiles sont suspendues par ailleurs à des bras de flexion (13) en forme de U ayant une extrémité de branche reliée à la masse et une autre extrémité reliée à un point d'ancrage fixe 18. Les bras de flexion ne sont pas intercalés entre la structure de couplage et la masse mais sont indépendants de la structure de couplage. Les masses sont excitées en vibration dans leur plan par des forces électrostatiques appliquées par des peignes interdigités 11. Les forces de Coriolis les font vibrer perpendiculairement au plan et cette vibration est détectée par des électrodes faisant partie des masses mobiles. Application : mesure de vitesses angulaires dans les avions, automobiles, robots, etc.
Inglese Jerome
Lefort Pierre-Olivier
Leverrier Bertrand
Nicu Liviu
Rougeot Claude
Goudreau Gage Dubuc
Thales
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1928586