G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 26/08 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) G01C 19/00 (2006.01) G01P 15/08 (2006.01) G02B 6/32 (2006.01) G02B 6/35 (2006.01) H04Q 11/00 (2006.01) G02B 6/36 (2006.01)
Patent
CA 2340192
A monolithically fabricated micromachined structure couples a reference frame (56) to a dynamic plate (58). Performance of torsional oscillators or scanners benefits greatly by coupling the frame (56) to the plate (58) with folded torsional flexure hinges (96) rather than torsion bars. A folded torsion flexure hinge (96) for supporting the plate (58) from the frame (56) is made up of three basic hinge segments (102a, 102b, 102c). Each basic hinge segment (102a, 102b, 102c) has a longitudinal axis (98) which is not oriented perpendicular to the rotation axis (62) of the plate (58). An intermediaire region (104) of the folded torsional flexure hinge (96) couples together immediately adjacent ends (106) of the basic hinge segments (102a, 102b, 102c). A basic hinge segment (102b) may include a torsion sensor (108) for measuring angular rotation of the plate (58) about axis (62) with respect to the frame (56).
L'invention concerne une structure (52) micro-usinée dans un composant monolithique, couplant un cadre de référence (56) à une plaque dynamique (58) ou un second cadre destiné à faire tourner ladite plaque (58) ou un second cadre par rapport à la plaque de référence (56). L'efficacité des oscillateurs ou des numérisateurs graphiques (52) à torsion est grandement améliorée par le couplage du cadre (56) à la plaque (58) ou d'un second cadre avec des articulations de flexion (56) à torsion plutôt qu'avec des barres à torsion (54). Des appendices (122), des éléments d'attache (142) ou un circuit d'entraînement perfectionné améliore la stabilité d'entraînement électrostatique des oscillateurs à torsion (52). De grandes articulations de flexion (96) en torsion de mince épaisseur, et du silicium isotopiquement pur augmentent la conductivité thermique entre la plaque (58) et le cadre (56). Des fentes de pontage (232) de matériau d'amortissement adjacentes aux articulations de flexion (96) en torsion réduisent de manière importante le facteur Q de l'élément dynamique. Une grande partie (252) des articulations de flexion étroites (96) permet d'inclure un capteur de torsion (108). Un élément dynamique (58) comprenant une partie d'actionnement (302) exécute la commutation du faisceau lumineux. Des revêtements réfléchissants (76) à quadrillage de fils électriques, des photodétecteurs (372), et des lentilles de Fresnel (376) améliorent l'efficacité optique des numérisateurs graphiques (52) à torsion.
Neukermans Armand P.
Slater Timothy G.
Finlayson & Singlehurst
Xros Inc.
LandOfFree
Micromachined members coupled for relative rotation by... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Micromachined members coupled for relative rotation by..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Micromachined members coupled for relative rotation by... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1808219