Micromachined opto-flow gas sensor

G - Physics – 01 – N

Patent

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Details

G01N 7/16 (2006.01)

Patent

CA 2283563

A micromachined integrated opto-fluidic or opto-acoustic sensor (10) having a rapidly intensity-varying or pulsing light source (14), an interference filter (16), a gas cavity (20), which may or may not be an optical and/or acoustic resonator tuned to a particular wavelength of light, or sound frequency, into which the detected gas can diffuse via a filter (22), and a fluidic or pressure sensor (19) to detect the heating and cooling, and the resulting expansion and contraction of the gas due to the absorption of light at the particular wavelength by the specific gas being detected. The presence of other gases is inferred from the detected gas.

Capteur (10) opto-fluidique ou opto-acoustique intégré micro-usiné qui possède une source lumineuse à variation d'intensité ou à pulsations rapides, un filtre d'interférence (16), une cavité (20) à gaz, qui peut être ou non un résonateur optique et/ou acoustique réglé sur une longueur d'onde lumineuse ou une fréquence sonore particulières, dans laquelle le gaz détecté peut se propager en passant par un filtre (22), et un capteur (19) fluidique ou de pression destiné à détecter le réchauffement et le refroidissement et, partant, la dilatation et la contraction du gaz sur la base de l'absorption de lumière de longueur d'onde particulière par le gaz spécifique à détecter. A partir des gaz détectés, il est possible de déduire la présence d'autres gaz.

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