Micromachined valve apparatus

F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 15 – C

Patent

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Details

F15C 5/00 (2006.01) F15C 3/04 (2006.01)

Patent

CA 2169826

A valve controlling fluid flow includes a brittle layer of material having a port opening therein and a valve seat disposed about a perimeter of the port opening. The valve seat is selectively covered to control fluid flow through the port opening. A second layer of material is spaced apart from the brittle layer and has a surface facing the valve seat. A flexible sheet of material sandwiched between the brittle layer of material and the second layer of material includes a diaphragm actuated by a control force to selectively cover the valve seat to thereby control fluid flow through the port opening. The flexible sheet of material includes a moldable material a portion of which conforms to a contour of the valve seat. The moldable material is preferably joined to a flexible organic material.

Une vanne de régulation du débit d'un fluide comprend une couche fragile (12) de matériau possédant un orifice d'ouverture (30, 32) et un siège (24A-24F) de vanne situé autour d'un périmètre de l'orifice d'ouverture (30, 32). Le siège (24A-24F) de vanne est couvert sélectivement, de façon à réguler le débit du fluide à travers l'orifice d'ouverture (30, 32). Une deuxième couche de matériau (20) est espacée de la couche fragile (12) et possède une surface opposée au siège (24A-24F) de vanne. Une feuille souple de matériau (18) prise en sandwich entre la couche fragile de matériau (12) et la deuxième couche de matériau (20) comprend une membrane (22A-22F) actionnée par une force de commande, de façon à couvrir sélectivement le siège (22A-24F) de vanne, afin de réguler le débit du fluide à travers l'orifice d'ouverture (30, 32). La feuille souple de matériau (18) comporte un matériau déformable (64) dont une partie se conforme à un profil du siège (24A-24F) de vanne. Le matériau déformable (64) est de préférence combiné à un matériau organique souple (66).

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