G - Physics – 01 – C
Patent
G - Physics
01
C
G01C 19/56 (2006.01)
Patent
CA 2460977
A micromechanical inertial sensor (10) is provided having a reduced pickoff Q, while maintaining a high motor Q. The micromechanical inertial sensor includes a pair of proof masses (14) and aligned pickoff plates (26). Each pickoff plate is spaced from the respective proof mass by a gap that varies in response to out-of-plane movement of the proof mass. The micromechanical inertial sensor also includes at least one voltage source (28) for providing charge to the pickoff plates. By measuring the movement charge in each electrical circuit that includes a pickoff plate as the gap between the pickoff plate and the respective proof mass varies, a measurement of the rotation of the micromechanical inertial sensor about an input axis may be obtained. The micromechanical inertial sensor further includes resistive elements (30) disposed in series between the voltage source and each pickoff plate to increase the pickoff resonance damping of the micromechanical inertial sensor.
L'invention concerne un capteur inertiel micromécanique (10) présentant un facteur de qualité de résonance (Q) de détecteur d'écart réduit, tout en maintenant un Q moteur élevé. Le capteur inertiel micromécanique comprend une paire de masses d'épreuve (14), et des plaques de détecteur d'écart alignées (26). Chaque plaque de détecteur d'écart est espacée de sa masse d'épreuve respective, par le biais d'un espace pouvant varier en réponse à un déplacement hors-plan de la masse d'épreuve. Le capteur inertiel micromécanique comprend également au moins une source de tension (28) permettant de fournir une charge aux plaques du détecteur d'écart. La mesure de la charge de déplacement de chaque circuit électrique comprenant une plaque de détecteur d'écart, alors que l'espace entre la plaque de détecteur d'écart et sa masse d'épreuve correspondante varie, permet d'obtenir une mesure de la rotation du capteur inertiel micromécanique autour d'un axe d'entrée. Le capteur inertiel micromécanique comprend également des éléments résistifs (30) disposés en série entre la source de tension et chaque plaque de détecteur d'écart pour accroître l'amortissement de résonance de détecteur d'écart du capteur inertiel micromécanique.
Gowling Lafleur Henderson Llp
Honeywell International Inc.
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