G - Physics – 01 – C
Patent
G - Physics
01
C
G01C 19/56 (2006.01)
Patent
CA 2695091
The present invention relates to a micromechanical Coriolis rate-of-rotation sensor for detecting a rate of rotation about a measurement axis which is denoted the X axis below, having a substrate, an oscillation structure and means for generating a rotational oscillation about an excitation axis (Z axis) which is orthogonal to the measurement axis, wherein the oscillation structure is rotatably connected to the substrate by means of first, inner suspension means or by means of a central suspension means, with the result that it can carry out rotational oscillations about a fulcrum relative to the substrate, wherein at least one pair of second suspension means also connects the oscillation structure to the substrate and is arranged on opposite sides of the fulcrum, wherein the at least one pair of second suspension means is arranged at a greater radial distance from the fulcrum than the first, inner suspen-sion means or the central suspension means in order to provide a micromechanical Coriolis rate-of-rotation sensor with a response behaviour which can be designed in a manner specific to the axis of rotation and with sufficient sensitivity to rates of rotation in one or more directions of rotation, which sensor simultaneously has sufficient robustness with respect to the effect of external shock or vibration in the measuring direction or directions (about a detection axis) in order to meet the requirements for electronic signal processing as far as possible and, in particular, to counteract the risk of the oscillation structure sticking on the substrate.
La présente invention concerne un capteur micromécanique de vitesse de rotation Coriolis destiné à enregistrer une vitesse de rotation autour d'un axe de mesure, appelé ci-après = axe des X =, doté d'un substrat, d'une structure oscillante et de moyens permettant de produire une oscillation rotative autour d'un axe d'excitation (axe des Z) orthogonal à l'axe de mesure. La structure oscillante est reliée au substrat de manière rotative grâce à des premières suspensions internes ou grâce à une suspension centrale, de manière à pouvoir effectuer des oscillations rotatives autour d'un point de rotation par rapport au substrat. De plus, au moins une paire de secondes suspensions relient la structure oscillante au substrat et sont agencées l'une sur l'autre de chaque côté du point de rotation, la ou les paires de secondes suspensions étant agencées à une distance radiale du point de rotation plus importante que les premières suspensions internes ou que la suspension centrale. Ceci permet d'obtenir un capteur micromécanique de vitesse de rotation Coriolis ayant une caractéristique de réponse pouvant se former de manière spécifique à l'axe de rotation grâce à une sensibilité suffisante vis-à-vis de la vitesse de rotation autour d'une ou de plusieurs directions de rotation, et qui possède une robustesse suffisante contre les chocs et les vibrations extérieurs, à la fois dans la direction ou les directions de mesure (autour d'un axe de détection), afin de répondre le mieux possible aux exigences du traitement électronique des signaux et notamment afin de prévenir tout danger d'adhérence de la structure oscillante au substrat.
Gowling Lafleur Henderson Llp
Sensordynamics Ag
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1562798