Micromirror element and micromirror array

Details Micromirror element and micromirror array Micromirror element and micromirror array

G - Physics

02

B

G02B 26/08 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01)

Patent

CA 2682795

A movable beam (182a) and a movable beam (182b), each of which has one end fixed to a frame section (181), are arranged inside the frame section (181) of a mirror substrate (108). Each of the movable beam (182a) and the movable beam (182b) has the one end fixed to each of the two facing sides inside the frame section (181), and the beams are arranged at a prescribed interval on the same line in a direction where the two sides face each other. Furthermore, each of the movable beam (182a) and the movable beam (182b) has the other end displaceable in the normal line direction of the mirror substrate (108), and has a cantilever structure. A mirror (183) is arranged between the movable beam (182a) and the movable beam (182b) by being connected to a pair of connecting sections (109a, 109b).

L'invention concerne une poutre mobile (182a) et une poutre mobile (182b), chacune d'elles ayant une extrémité fixée sur une section de châssis (181). Les poutres mobiles sont agencées à l'intérieur de la section de châssis (181) d'un substrat de miroir (108). La poutre mobile (182a) et la poutre mobile (182b) ont chacune leur première extrémité fixée à chacun des deux côtés opposés à l'intérieur de la section de châssis (181), et les poutres sont agencées selon un intervalle prescrit sur la même ligne dans une direction dans laquelle les deux côtés se font face. En outre, la poutre mobile (182a) et la poutre mobile (182b) ont chacune l'autre extrémité qui peut être déplacée en direction de la ligne normale du substrat de miroir (108), et ont une structure en porte-à-faux. Un miroir (183) est agencé entre la poutre mobile (182a) et la poutre mobile (182b), en étant raccordé à une paire de sections de raccordement (109a, 109b).

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