F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 04 – B
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
04
B
F04B 43/04 (2006.01) F04B 53/10 (2006.01)
Patent
CA 2181084
A micropump including two glass wafers (2, 8) with a machined silicon wafer (6) sealingly inserted therebetween. An inlet valve (12), a pump chamber (14) and an outlet valve (16) are arranged between an inlet channel (4) and an outlet channel (5). A pump diaphragm (36) forming one wall of the pump chamber comprises a thicker central portion (38) operating like a piston. A piezoelectric element (52) acts on the diaphragm via an intermediate part (64) to provide the pumping movement. The pump chamber (14) and the spaces (22, 24) linking same to the inlet and outlet valves are shaped so that the reduction in the inner volume of the micropump caused by a reduction in the volume of the pump chamber during the pumping movement is such that the air in the micropump is compressed to a pressure high enough to open the outlet valve, whereby said micropump is self-priming.
La micropompe comprend deux plaquettes en verre (2, 8) entre lesquelles est intercalée de manière étanche une plaquette (6) en silicium usinée. Des clapets d'entrée (12), une chambre de pompage (14) et un clapet de sortie (16) sont agencés entre un conduit d'entrée (4) et de sortie (5). Une membrane de pompage (36) formant une paroi de la chambre de pompage comporte une partie centrale plus épaisse (38) destinée à fonctionner à la manière d'un piston. Un élément piézoélectrique (52) agit au moyen d'une pièce intermédiaire (64) sur la membrane de façon à effectuer le mouvement de pompage. La chambre de pompage (14) et les espaces (22, 24) reliant cette dernière aux clapets d'entrée et de sortie sont conformés de façon que la diminution du volume interne de la micropompe due à la diminution du volume de la chambre de pompage lors d'un mouvement de pompage est telle que l'air contenu dans la micropompe est comprimé à une pression suffisante pour provoquer l'ouverture du clapet de sortie de façon que la micropompe est auto-amorçante.
Debiotech S.a.
Robic
Westonbridge International Limited
LandOfFree
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