Miniature fourier transform spectrophotometer

G - Physics – 01 – B

Patent

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Details

G01B 9/02 (2006.01)

Patent

CA 2588095

The Miniature Fourier Transform Spectrophotometer provides the capability, in a miniaturized device, of determining the light absorption/transmission spectra of a collected sample of gas or liquid though Fourier Transform spectroscopy techniques. The device takes an optical input from an optical fiber, manipulates that light through miniature optical components, and launches it into a miniaturized Michelson interferometer with a scanning mirror that acquires the interferogram of the optical input. The interferogram can be processed to retrieve the spectrum of the input light. A novel multi- stepped micro-mirror operates as the optical path length modulator in the miniaturized interferometer. A unique monolithic beamsplitter/mirror combination provides for accurate alignment of the components and greatly simplifies product integration. The device is designed to cover various optical spectra of interest. During operation, the precision and accuracy of the microfabricated components in the device allow operation and resolution even at extremely low wavelengths. In addition, the miniaturized nature of the device allows it to be used in new and extremely space-constrained applications.

L'invention concerne un spectrophotomètre miniature à transformée de Fourier permettant, dans un dispositif miniaturisé, de déterminer les spectres d'absorption/transmission de la lumière d'un échantillon de gaz ou de liquide par des techniques de spectroscopie par transformée de Fourier. Le dispositif prélève une entrée optique d'une fibre optique, manipule la lumière à travers des composants optiques miniatures et l'envoie dans un interféromètre de Michelson miniaturisé comprenant un miroir de balayage qui acquiert l'interférogramme de l'entrée optique. Cet interférogramme peut être traité pour retrouver le spectre de la lumière entrante. Un nouveau micro-miroir à plusieurs étages sert de modulateur de chemin optique dans l'interféromètre miniaturisé. Un ensemble unique miroir/diviseur de faisceau monolithique permet d'obtenir un alignement précis des composants et de simplifier largement l'intégration des produits. Ce dispositif est conçu pour couvrir divers spectres optiques d'intérêt. Pendant le fonctionnement, la précision et l'exactitude des composants microfabriqués dans le dispositif permettent d'obtenir un fonctionnement et une résolution y compris à des longueurs d'onde extrêmement faibles. Par ailleurs, la nature miniaturisée du dispositif permet de l'utiliser dans de nouvelles applications présentant d'importantes contraintes d'espace.

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