Miniaturized mass filter

Details Miniaturized mass filter Miniaturized mass filter

H - Electricity

01

J

H01J 49/28 (2006.01)

Patent

CA 2202060

A mass filter is provided for use in a solid state mass spectrograph for analyzing a sample of gas. The mass filter is located in a cavity provided in a semiconductor substrate. The mass filter generates an electromagnetic field in the cavity which filters by mass/charge ratio an ionized portion of the sample of gas. The substrate has an inlet through which the gas to be analyzed flows through prior to reaching the mass filter. The mass filter can be either a single-focussing Wien filter or magnetic sector filter or can be a double-focussing filter which uses both an electric field and a magnetic field to separate the ions.

L'invention concerne un filtre de masse conçu pour s'utiliser dans un spectrographe de masse à semi-conducteurs servant à analyser un échantillon de gaz. Ce filtre de masse est placé dans une cavité située dans un substrat à semi-conducteurs. Le filtre de masse génère un champ électromagnétique dans la cavité, qui filtre en fonction d'un rapport masse/charge une partie ionisée de l'échantillon de gaz. Le substrat possède une entrée par laquelle le gaz à analyser s'écoule avant d'atteindre le filtre de masse. Ce dernier peut être un filtre à secteur magnétique ou un filtre de Wien à simple foyer ou bien un filtre à double foyer utilisant à la fois un champ électrique et un champ magnétique pour séparer les ions.

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