G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 25/48 (2006.01)
Patent
CA 2545630
The invention provides a miniaturized sensor device (10) including a thin film membrane (12) having a first surface and a second surface, one or more resistive thin film heater/thermometer devices (20) disposed directly or indirectly adjacent to the first surface of the thin film membrane (12), and a frame (14) disposed directly or indirectly adjacent to the second surface of the thin film membrane (12), wherein one or more internal surfaces of the frame (14) define at least one cell (18) having at least one opening. The sensor device (10) also includes a thin film layer (16) disposed directly or indirectly adjacent to the frame (14). The sensor device (10) further includes a sensing layer (22) disposed directly or indirectly adjacent to the thin film membrane (12).
La présente invention concerne un dispositif de détection miniaturisé (10) comportant une membrane en couche mince (12) définissant deux faces. Au moins un dispositif radiateur/thermomètre en couche mince résistive (20) est placé indirectement ou directement à même la face recto de la membrane (12). Enfin, un châssis (14) est placé indirectement ou directement à même la face verso de la membrane (12). En l'occurrence, l'une au moins des surfaces internes du châssis (14) définit au moins une cellule (18) présentant au moins une ouverture. Le dispositif de détection (10) comporte également un film en couche mince (16) placé indirectement ou directement à même le châssis (14). Le dispositif de détection (10) comporte enfin une couche de détection (22) disposée indirectement ou directement à même la membrane en couche mince (12).
Knobloch Aaron Jay
Schultz Gerald
Tian Wei-Cheng
Zribi Anis
Company General Electric
Craig Wilson And Company
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2011794