Mobile plating system and method

H - Electricity – 01 – J

Patent

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Details

H01J 37/32 (2006.01) C23C 14/32 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01)

Patent

CA 2410347

An exemplary mobile plating system and method are provided for performing a plating process using virtually any known or available deposition technology for coating or plating. The mobile plating system may include a vacuum chamber positioned in a mobile storage volume, an external vacuum pump, and a control module to control the operation of some or all of the operations of the external vacuum pump. The external vacuum pump is positioned in the mobile storage volume when the mobile plating system is in transit, and is positioned external to the mobile storage volume when the mobile plating system is stationary and in operation. The external vacuum pump may be mounted on a skid, and, in operation, the external vacuum pump couples with the vacuum chamber to assist with producing a desired pressure in the vacuum chamber. The external vacuum pump couples with the vacuum chamber using a flexible piping segment to reduce and/or eliminate any mechanical vibrations within the vacuum chamber and within the mobile storage volume due to the operation of the external vacuum pump. An exemplary method for using a mobile plating system is provided that includes locating the mobile plating system at a desired location for plating, positioning an external vacuum pump from an interior position of a mobile storage volume of the mobile plasma plating system to an exterior position, and coupling the external vacuum pump to a vacuum chamber within the mobile storage volume of the mobile plasma plating system using a flexible piping segment.

L'invention concerne un système mobile et un procédé de placage exemplaires permettant d'effectuer un processus de placage au moyen de virtuellement toutes les technologies de déposition connues ou disponibles destinées au revêtement et au placage. Le système mobile de placage peut comprendre une chambre à vide placée dans un volume de stockage mobile, une pompe à vide externe et une unité de commande servant à commander le fonctionnement d'une partie ou de l'ensemble des fonctionnements de la pompe à vide externe. Celle-ci est placée dans le volume de stockage mobile quand le système mobile de placage est en transit et elle est placée à l'extérieur du volume de stockage mobile quand ledit système est fixe ou en fonction. La pompe à vide externe peut être montée sur un patin et, lorsqu'elle fonctionne, elle est couplée à la chambre à vide, en vue de contribuer à la production d'une pression souhaitée dans la chambre à vide. La pompe à vide externe est couplée à la chambre à vide au moyen d'un segment de tuyau souple de manière à réduire et/ou éliminer des vibrations mécaniques quelconques présentes dans la chambre à vide et dans le volume de stockage mobile, ces vibrations étant engendrées par le fonctionnement de la pompe à vide externe. L'invention concerne également un procédé exemplaire d'utilisation d'un système mobile de placage consistant à placer ledit système au niveau d'un emplacement de placage souhaité, à positionner une pompe à vide externe à partir d'une position intérieure d'un volume de stockage mobile du système mobile de placage au plasma vers une position extérieure, et à coupler la pompe à vide externe à une chambre à vide comprise à l'intérieur du volume de stockage mobile du système mobile de placage au plasma au moyen d'un segment de tuyau souple.

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