H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 37/32 (2006.01) H01J 37/34 (2006.01)
Patent
CA 2751811
The present invention relates to an arc vaporization source for generating hard surface coatings on tools. The invention comprises an arc-vaporization source, comprising at least one electric solenoid and a permanent magnet arrangement that is displaceable relative to the target surface. The vaporization source can be adjusted to the different requirements of oxide, nitride, or metal coatings. The rate drop during the lifespan of a target to be vaporized can be held constant or adjusted by suitably adjusting the distance of the permanent magnets to the front side of the target. A compromise between the coating roughness and rate can be set.
La présente invention concerne une source de vaporisation à arc destinée à la réalisation de couches de matière dure sur des outils, et en particulier une source de vaporisation à arc constituée d'au moins une bobine d'électroaimant et d'un dispositif d'aimant permanent mobile par rapport à la surface de la cible. Cette source de vaporisation est adaptable aux différentes exigences des couches d'oxydes, de nitrures ou de métal. La baisse de rendement affectant la cible à vaporiser pendant toute la durée de sa vie peut être maintenue constante, voire être réglée, grâce à l'utilisation d'un éloignement approprié de l'aimant permanent par rapport à la face antérieure de la cible. L'invention permet un bon compromis entre rugosité de couche et rendement.
Gstoehl Oliver
Hagmann Juerg
Krassnitzer Siegfried
Fetherstonhaugh & Co.
Oerlikon Trading Ag Truebbach
LandOfFree
Modifiable magnet configuration for arc vaporization sources does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Modifiable magnet configuration for arc vaporization sources, we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Modifiable magnet configuration for arc vaporization sources will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1695129