Modified cryogenic diffusion pump

Details Modified cryogenic diffusion pump Modified cryogenic diffusion pump

F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons

04

F

F04F 9/00 (2006.01) F04B 37/06 (2006.01)

Patent

CA 2162593

A pumping device is provided which is suitable for pumping mixtures of gases at cryogenic temperatures which is a combination of a cryogenic diffusion pump and a the gradient barrier diffusion pump. Specifically the pumping device comprises an elongate body of material capable of withstanding cryogenic temperatures and of sustaining an axial temperature gradient in use, said body having an inlet for the gas mixture and an outlet for one or more gases to be pumped wherein the outlet is fitted with a porous barrier through which gases must pass to exit the device, said porous body having a heating means disposed at its outlet side.

Dispositif de pompage convenant au pompage de mélanges gazeux à des températures cryogéniques, et combinant une pompe à diffusion cryogénique et une pompe à diffusion à barrière à gradient thermique. Plus particulièrement, le dispositif de pompage comprend un corps allongé d'un matériau apte à supporter des températures cyrogéniques et à maitenir un gradient de température axial en cours d'utilisation, ce corps présentant un orifice d'entrée destiné au mélange gazeux et un orifice de sortie destiné à un ou plusieurs gaz devant être pompés, l'orifice de sortie étant équipé d'une barrière poreuse que les gaz doivent traverser pour sortir du dispositif, ledit corps poreux comportant un moyen de chauffage disposé au nivau de son côté de sortie.

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