G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 26/08 (2006.01) G02B 27/18 (2006.01) H04N 5/74 (2006.01)
Patent
CA 2218240
A thin film actuated mirror is disclosed having a substrate (16), a deformable structure (12) mounted to the substrate (16), and a mirror surface (17) interconnected to the deformable structure such that the mirror surface tilts in response to the deformation of the deformable material layer. The deformation occurs due to the effective strain gradient across the monomorph thickness which is accomplished by varying the electric field across the thickness or the strain parameter across the thickness. The deformable structure (12) includes an active material layer (18) fabricated from a semi- conductive ferroelectric ceramic material and two metal electrodes, each of the electrodes being mounted on opposing surfaces of the active material layer (18), wherein an electrical signal applied across the active material layer (18) between the electrodes causes deformation of the active material layer (18). Alternatively, the active material layer (18) may be fabricated from two layers, an upper layer (36) of an active piezoelectric material and a lower layer (38) of an inactive material.
L'invention concerne un miroir actionné par une couche mince, ayant un substrat (16), une structure déformable (12) montée sur le substrat (16) et une surface de miroir (17) connectée à une structure déformable. La surface du miroir s'incline en réponse à la déformation de la couche de matériau déformable. La déformation se produit par suite de l'apparition d'un gradient de contrainte efficace qui suivant l'épaisseur de la couche monomorphe, ce gradient étant créé en faisant varier suivant l'épaisseur le champ électrique ou le paramètre de contrainte. La structure déformable (12) comprend une couche d'un matériau actif (18) fabriquée à partir d'un matériau céramique ferroélectrique semi-conducteur et de deux électrodes métalliques, chacune des électrodes étant montée sur une surface opposée de la couche de matériau actif (18), un signal électrique appliqué transversalement par rapport à la couche de matériau actif (18) entre les électrodes provoquant la déformation de la couche de matériau actif (18). Dans une variante, la couche de matériau actif (18) peut être fabriquée à partir de deux couches, une couche supérieure (36) en un matériau piézoélectrique actif et une couche inférieure (38) en un matériau inactif.
Aura Systems Inc.
Macrae & Co.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1689654