H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 37/244 (2006.01)
Patent
CA 2238359
A solid state electron or x-ray detector is mounted within the time-varying magnetic deflection fields of a charged particle beam system. A minimum volume of high resistivity conductors and insulating materials are used in the mounting to minimize eddy currents that otherwise cause dynamic deflection distortions. Segmented conductive elastomer members make electrical and mechanical contact with the active surface of the detector. A flexible PC board connects the detector active areas to external signal processing electronics.
Un détecteur transistorisé électronique ou à rayons X est monté dans les champs de déviation magnétique à variation dans le temps d'un système de faisceaux de particules chargées. Une quantité minimale de conducteurs de haute résistivité et de matériaux isolants est utilisée dans le montage de façon à minimiser les courants de Foucault, ce qui pourrait sinon provoquer des distorsions de déviation dynamiques. Des éléments élastomères conducteurs segmentés établissent un contact électrique et mécanique avec la surface active du détecteur. Une carte de circuit imprimé flexible raccorde les surfaces actives du détecteur à l'électronique externe de traitement de signaux.
Garcia Rudy F.
Veneklasen Lee H.
Etec Systems Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1793320