C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 14/04 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01) H05B 33/10 (2006.01)
Patent
CA 2426641
A multi-face forming mask device for vacuum deposition, wherein a second metal mask (13) having a reed screen part (13A) with a large number of fine slits (13a) arranged parallel with each other at very small intervals is disposed on a base plate (12) commonly used as a first metal mask having a plurality of windows (18) for restricting a deposition area, one end of the second metal mask (13) is fixed to the base plate (12) with a mask clamp (20) and the other end is fixed to a slider (23), and a spring force is given to the slider (23) by compression coil springs (30) to give a tension to the reed screen part (13A) of the second metal mask so as to maintain the slits (13a) in a straight state at specified pitches, whereby ultra fine patterns can be formed on the multiple faces of a substrate (17) by disposing the substrate (17) on the second metal mask (13) and performing deposition.
L'invention concerne un dispositif de masque de formation à plusieurs faces destiné au dépôt sous vide. Un second masque métallique (13) pourvu d'une partie d'écran à rainures (13A) avec un grand nombre de fentes fines (13a) disposées parallèlement à des intervalles très petits est placé sur une plaque de base (12) généralement utilisée comme premier masque métallique pourvu d'une pluralité de fenêtres (18) servant à restreindre une zone de dépôt. Une extrémité du second masque métallique (13) est fixée sur la plaque de base (12) au moyen d'une fixation de masque (20) et l'autre extrémité est fixée sur un curseur (23). Une tension de ressort est appliquée au curseur (23) par compression des ressorts hélicoïdaux (30), de manière à mettre sous tension la partie d'écran à rainures (13A) du second masque métallique, afin de maintenir les fentes (13a) alignées à des pas spécifiques. On peut former des motifs ultra fins sur plusieurs faces d'un substrat (17) en plaçant le substrat (17) sur le second masque métallique (13) et en effectuant le dépôt.
Sakata Takuya
Tsuchiya Terunao
Dai Nippon Printing Co. Ltd.
Macrae & Co.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2029829