Multiaxial micromachined accelerometer

G - Physics – 01 – P

Patent

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Details

G01P 15/03 (2006.01) G01P 15/00 (2006.01) G01P 15/08 (2006.01) G01P 15/10 (2006.01) G01P 15/125 (2006.01)

Patent

CA 2484591

L'invention concerne un accéléromètre différentiel micro-usiné dans une plaque plane, comportant une base (50) et une cellule de mesure différentielle (100) qui comprend une masse sismique mobile (1) et deux capteurs de force reliés à la masse et à la base. Sous l'effet d'une accélération suivant Ox et/ou Oy, Ox et Oy étant des directions orthogonales du plan de la plaque, la masse sismique (1) est susceptible de se déplacer en translation suivant une direction parallèle à l'accélération, et présente un centre de gravité situé à l'intersection d'un plan A1 perpendiculaire au plan de la plaque et passant par Ox et d'un plan A2 perpendiculaire au plan de la plaque et passant par Oy ; un premier capteur de force comprend selon Ox, deux systèmes identiques de détection (3a, 3b) en vue d'une mesure différentielle de la translation selon Ox, et associé à chaque système de détection (3a, 3b), un système de filtrage (4a, 4b) relié à la base (50) et un second capteur de force comprend selon Oy, deux autres systèmes identiques de détection (3c, 3d) en vue d'une mesure différentielle de la translation selon Oy, et associé à chaque système de détection (3c, 3d), un système de filtrage (4c, 4d) relié à la base (50), chaque système de filtrage permettant au système de détection associé de se déplacer selon une direction perpendiculaire à celle de sa détection sans autoriser de déplacement selon sa direction de détection.

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