Multiple layer piezoelectric deformable bimorphic mirror

G - Physics – 02 – B

Patent

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Details

G02B 5/10 (2006.01) G02B 26/06 (2006.01) G02B 26/08 (2006.01) H01L 41/09 (2006.01)

Patent

CA 2185320

A multilayer piezoelectric deformable bimorph mirror is presented for use in astronomical telescopes, laser industrial systems, guidance and tracking systems, comprising a housing 1 made as a sleeve with a cover 2. The reflectance surface 3 is formed on the outer side of the bottom of the sleeve. At least two piezoceramic plates 4 are coupled to the inner surface of the sleeve bottom not extending beyond the limits of the reflectance surface. The piezoceramic plates have solid electrodes 5 on their opposite surfaces, polarisation vectors 6 of adjacent piezoceramic plates are oppositely directed and their like electrodes are electrically connected between each other by means of wires 7. The sleeve is designed in one piece with the bottom of a variable thickness and the central part of the bottom carrying the reflectance surface 3 has a greater thickness compared to the peripheral part. The cavity of the housing 1 may be filled with an elastic sealant 10.

L'invention concerne un miroir multicouche piézo-électrique déformable bimorphe destiné à être utilisé dans des télescopes astronomiques, des lasers industriels et des systèmes de guidage et de poursuite. Le miroir proposé comprend un logement (1) se présentant sous la forme d'un cylindre creux comportant un couvercle (2) ainsi qu'une surface réfléchissante (3) sur la face extérieure du fond du cylindre. Au moins deux plaques piézo-électriques (4), dotées chacune d'électrodes continues (5) sur des faces opposées, sont disposées sur la surface intérieure du fond parallèlement à celles-ci, et à l'intérieur des limites de la surface réfléchissante (3). Les vecteurs de polarisation (6) de n'importe quel couple de plaques adjacentes ont une direction opposée et les électrodes correspondantes de plaques adjacentes sont connectées par des fils (7). Le cylindre est conçu sous la forme d'un composant unique et le fond du cylindre est plus épais au milieu, où se trouve la surface réfléchissante (3), qu'à la périphérie. La cavité du logement (1) peut être remplie d'un agent d'étanchéité élastique (10).

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