G - Physics – 01 – R
Patent
G - Physics
01
R
G01R 1/073 (2006.01)
Patent
CA 2381803
A multi-point probe, a method for producing the multi-point probe and a cylindrical nano-drive for in particular driving the multi-point probe in a multi-point testing apparatus for testing electric properties on a specific location of a test sample. The multi-point probe comprises a supporting body defining a first surface, a first multitude of conductive probe arms each of the conductive probe arms defining a proximal end and a distal end being positioned in co-planar relationship with the first surface of the supporting body. The conductive probe arms are connected to the supporting body at the proximal ends thereof and have the distal ends freely extending from the supporting body, giving individually flexible motion to the first multitude of conductive probe arms. The conducting probe arms originate from a process of producing the multi-point probe including producing the conductive probe arms on a supporting wafer body in facial contact with the supporting wafer body and removal of a part of the wafer body providing the supporting body and providing the conductive probe arms freely extending from the supporting body. The multi-point probe further comprises a third multitude of conductive tip elements extending from the distal end of the first multitude of conductive probe arms. The conductive tip elements originate from a process of metallization of electron beam depositions on the first multitude of conductive probe arms at the distal ends thereof.
La présente invention concerne, d'une part une sonde multipoint et son procédé de production, et d'autre part un module moteur nanométrique cylindrique convenant particulièrement à l'animation de la sonde multipoint d'un testeur multipoint utilisé pour vérifier des propriétés électriques d'un emplacement spécifique d'un échantillon test. Le corps support de cette sonde multipoint définit une première surface et, dans ce même plan, une première pluralité de doigts de sonde électro-conducteurs repérés chacun par une extrémité proximale et qu'une extrémité distale, Les doigts de sonde électro-conducteurs partent des extrémités proximales du corps support auxquelles ils sont reliés. Leurs extrémités distales libres permettent d'animer la première pluralité de doigts de sonde de mouvements de flexion indépendants les uns des autres. Pour faire cette sonde multipoint, on commence par réaliser des doigts de sonde électro-conducteurs en appui total sur une microplaquette support, puis, par enlèvement de matière, on réduit le volume de la microplaquette dégageant les extrémités libres des doigts de sonde électro-conducteurs. La sonde multipoint comprend également une troisième pluralité de pointes électro-conductrices partant de l'extrémité distale de la première pluralité de doigts de sonde électro-conducteurs. La métallisation des pointes électro-conductrices se fait par dépôt électronique sur les extrémités distales des doigts de sonde de la première pluralité.
Boggild Peter
Grey Francois
Nielsen Peter Folmer
Petersen Christian Leth
Quaade Ulrich
Capres A/s
Capres Aps
Fetherstonhaugh & Co.
LandOfFree
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